涂層表面成分分析

俄歇電子能譜（AES）

測(cè)試項(xiàng)目：

1、表面元素搜索分析

  針對(duì)產(chǎn)品表面涂層、鍍層、污點(diǎn)成分分析

2、表面和離子濺射一定深度再元素搜索分析

  針對(duì)產(chǎn)品表面涂層、鍍層、污點(diǎn)成分分，隨著濺射深度增加，再做出內(nèi)部成分，可對(duì)比

3、縱向分布分析

  元素隨著深度變化含量曲線

4、元素含量分布圖

  元素在產(chǎn)品表面上的分布圖

度：0.1-1%（在成分分析中，此度比較低，但對(duì)于一些極微小的雜質(zhì)來說，基本不用在做定量，知道主成分既可滿

足大多數(shù)要求）

分析尺寸：能分析小至25納米的顆粒

應(yīng)用領(lǐng)域：產(chǎn)品表面污染物、薄膜化學(xué)成分的分產(chǎn)品表面超薄涂層或雜質(zhì)的元素含量等