涂層表面成分分析

俄歇電子能譜（AES）

測試項目：

1、表面元素搜索分析

  針對產品表面涂層、鍍層、污點成分分析

2、表面和離子濺射一定深度再元素搜索分析

  針對產品表面涂層、鍍層、污點成分分，隨著濺射深度增加，再做出內部成分，可對比

3、縱向分布分析

  元素隨著深度變化含量曲線

4、元素含量分布圖

  元素在產品表面上的分布圖

度：0.1-1%（在成分分析中，此度比較低，但對于一些極微小的雜質來說，基本不用在做定量，知道主成分既可滿

足大多數要求）

分析尺寸：能分析小至25納米的顆粒

應用領域：產品表面污染物、薄膜化學成分的分產品表面超薄涂層或雜質的元素含量等