Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介德國(guó)Centrotherm公司是國(guó)際主流的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，尤其在高溫設(shè)備領(lǐng)域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火設(shè)備，主要用于滿足研發(fā)和小規(guī)模量產(chǎn)所需的多種工藝要求。
Centrotherm測(cè)溫系統(tǒng)適用于從室溫至高溫的廣泛區(qū)間。Centrotherm優(yōu)化的多區(qū)溫控系統(tǒng)結(jié)合可以獨(dú)立控制的加熱燈，提供了出色的控溫精度和控溫重復(fù)性。
此款設(shè)備配置手動(dòng)裝載系統(tǒng)，適用于研發(fā)以及小型的量產(chǎn)。
成熟的真空操作和氣體管理系統(tǒng)為多種應(yīng)用提供了可控的氣體環(huán)境。出色的性能和高度的靈活性，結(jié)合小的占地面積，低的客戶擁有成本，使c.RAPID 150成為一款佳的手動(dòng)RTP設(shè)備。
l 退火：一般退火、接觸層（Contact）退火、源/漏退火、勢(shì)壘金屬退火
l 硅化
l 氧化
l 摻雜活化
三、產(chǎn)品特性l 可在常壓或者真空（控壓）下工作
l 高度靈活性：適用于*6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盤
l 升溫速率約150 K/s
