Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長

centrotherm Activator 150 高溫爐生產(chǎn)線專為硅-碳化合物（SiC）或鎵-氮化合物（GaN） 設(shè)備的后植入燒結(jié)而設(shè)計開發(fā)。Activator 150 可用于多種類型爐體， 如研發(fā)爐和批量生產(chǎn)爐， 且處理靈活性高。centrotherm 的無金屬加熱裝置的獨特設(shè)計允許處理溫度高達 1850 °C 同時縮短了工藝循環(huán)時間。由于占據(jù)空間小、購置成本低，所以 Activator 150 可實現(xiàn)生產(chǎn)具有成本效益。