亞科電子的合作伙伴CAMTEK公司總部位于以色列，是一家致力于自動光學(xué)檢驗的設(shè)備商。CAMTEK主要的檢測領(lǐng)域包括：Wafer、PCB、HDI。 Wafter 檢測設(shè)備主要用于檢測Bump, RDL, Pad, UBM, Via，化合物CD關(guān)鍵尺寸等。
產(chǎn)品介紹
Eagle是大量產(chǎn)的2D檢測設(shè)備，采用了CAMTEK*進(jìn)的檢測系統(tǒng)。
| 大量產(chǎn)的2D檢測適用于部分前道工藝： ? 電鍍bump前后檢測； ? 電測針印大小的檢測； ? OQC檢測； ? 劃片后的檢測等； 同時又適用于器件的檢測： ? CMOS 圖像傳感器； ? MEMS特殊結(jié)構(gòu)監(jiān)測； ? LED良率監(jiān)測等。 |
Eagle是大量產(chǎn)的2D檢測設(shè)備，采用了CAMTEK*進(jìn)的檢測系統(tǒng)。
| ? 檢測小到2um的bump； ? 量測單片5000萬點的bump； ? 量測bump尺寸和間距； ? RDL后的線寬線距； ? TSV填孔后的尺寸； ? 2D檢測精度0.2um，3D檢測高度精度0.05um（量測范圍2~100um）。 |
EagleT-i是AOI市場上2D檢測速度最快的設(shè)備之一，其中囊括了CAMTEK*進(jìn)的機(jī)構(gòu)、*的鏡頭、*速的傳輸信道。
| ? 基于CAD圖層檢測； ? *的圖像銳化功能； ? 可以檢測RDL后小到2um線寬； ? 兼容檢測方片、翹曲片； ? 可以檢測小到0.2um的表面缺陷； ? 多重放大倍數(shù)，提高檢測能力。 |
