QC3 高分辨率X射線衍射儀是Jordan Valley公司推出的半導體生產質量控制設備的*機型，專注于化合物半導體產業(yè)中的生產監(jiān)控需求。Jordan Valley公司質量控制型

(QC)設備已經有三十余年的歷史，并在全球被廣泛應用于Si, GaAs, InP, GaN, 及其他常見的半導體襯底或外延層材料的測試和生產控制。QC3實現(xiàn)了高分辨率X射線衍射測試技術的部分或完全自動化，并可根據客戶產品的具體需求，度身設計專用的自動化控制程序和質量控制參數(shù)。

QC3可依需要配置自動化機械手臂，實現(xiàn)半導體晶圓片的自動化裝載，在生產線上執(zhí)行測試流程的全自動化。QC3也可以提供一次性同時放置多個小尺寸晶圓片。樣品盤上可以同時放置20片2英寸晶圓片，或者5片4英寸晶圓片?？刂栖浖梢詫⒆詣踊瘻y試菜單程序添加給同一批次的不同晶圓片，并依次針對樣品盤上所有的晶圓片執(zhí)行測試菜單，有效減少人工操作及干預，提高測試效率。

? 專注于半導體材料的高分辨率X射線衍射，未因兼顧其他X射線測試技術而降低高分辨率的要求。

? 與前期質量控制型設備相比，提高了X射線強度。在相同測試速度的情況下，可提高測試精度。在相同測試精度的條件下，將提高測試速度。

? 降低了設備及附件的購置和維護成本。

? 更低的運行成本。

? XRGProtect?可以有效延長X射線光管的使用壽命。

? 環(huán)保的綠色工作模式，待機時有效降低能耗。

? 可依據客戶需求，選擇性地配置自動化裝卸晶圓片用機械手臂，具備多片批次式同時測試的功能，提高生產測試效率。

? 操作簡便，無需專業(yè)人才操作。

? 完全自動化準直、測量晶圓片，數(shù)據分析自動化

? 工業(yè)界領先的RADS衍射數(shù)據自動化擬合軟件已經被客戶廣泛使用并獲得肯定。

? 測試和分析的數(shù)據結果可以進行自動化遠程報告。

? 可依客戶需要的格式自動創(chuàng)建測試數(shù)據報告。