氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。是根據(jù)自有FMEMS技術(shù)傳感芯片開發(fā)的一款應(yīng)用范圍較廣、低功耗、可移動(dòng)式設(shè)計(jì)、帶顯示、能夠?qū)崿F(xiàn)網(wǎng)絡(luò)化常規(guī)的計(jì)量設(shè)備。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。獨(dú)特的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理。因煤氣中含水、油和雜質(zhì)而造成的很大的零點(diǎn)漂移，導(dǎo)致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的質(zhì)量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)中的風(fēng)量（速）的實(shí)時(shí)檢測。