PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-300Pro
（PICOSUN? ALD ALD P-300 Pro）
名稱：原子層沉積系統(tǒng)產(chǎn)地：芬蘭
Picosun簡介
Picosun是一家全球公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產(chǎn)設(shè)施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN?ALD設(shè)備專為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設(shè)計，并且不斷發(fā)展以提高效率。Picosun適應(yīng)性強(qiáng)其客戶包括zui 大的電子制造商，小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及全球ling先的大學(xué)。 Picosun的組織機(jī)構(gòu)和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求。PICOSUN?研發(fā)工具具有獨(dú)特的內(nèi)置可擴(kuò)展性，可確保將研究結(jié)果平穩(wěn)過渡到大批量工業(yè)制造中，而不會出現(xiàn)技術(shù)差距。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當(dāng)您想與設(shè)備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時，Picosun是您的合作伙伴。
PICOSUN? ALD P-300 Pro：Picosun? 300mm生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是300mm以下晶圓的自動化、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設(shè)備。包括PICOSUN? P系列Pro和Advanced ALD設(shè)備。該工具可以獨(dú)立工作，也可以集成到PICOPLATFORM?300真空集群系統(tǒng)以達(dá)到更高的產(chǎn)量和自動化水平。為了節(jié)約昂貴的設(shè)施空間，所有PICOSUN?的ALD系統(tǒng)有著緊湊、高效的設(shè)計。集成的專業(yè)機(jī)柜，裝載著前驅(qū)體和電子元件，保證了快速簡便的維護(hù)和最短的停機(jī)時間。PICOSUN? P系列工具保證了*產(chǎn)能以及最節(jié)約成本的情況下得到優(yōu)秀的ALD工藝質(zhì)量，并履行嚴(yán)格的現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求。
工藝咨詢和開發(fā)，產(chǎn)能提升，維護(hù)保養(yǎng)流程和系統(tǒng)及工藝的故障排除，我們客戶化定制的PICOSUPPORT?綜合解決方案24小時快速響應(yīng)，隨時待命。在購買之前，我們的演示服務(wù)保證了設(shè)備可以100%滿足客戶最苛刻的產(chǎn)線需求。
技術(shù)指標(biāo)
襯底尺寸和類型 | *300mm晶圓/單片 |
工藝溫度 | 50 - 500 °C |
基片傳送選件 | 半自動裝載，用單片Load lock與磁力操縱桿實(shí)現(xiàn) |
25片晶圓盒對盒式全自動裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM? 300集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) | |
標(biāo)準(zhǔn) | SEMI S2認(rèn)證 |
前驅(qū)體 | 液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源 |
等離子體（僅供200mm晶圓使用，最多4路氣體） | |
前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù) | |
6條獨(dú)立源管線,最多加載8個前驅(qū)體源（最多12個前驅(qū)體源，加上plasma管路共7根獨(dú)立源管線） | |
重量 | 820 kg |
尺寸(W x H x D) | 160 cm x 80 cm x 240 cm |
選件 | 集群工具，PICOFLOW?擴(kuò)散增強(qiáng)，N2發(fā)生器，尾氣處理，定制設(shè)計，與工廠軟件連接服務(wù)。 |
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為Al2O3工藝， |
其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用具體驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如： | |
--不均勻性 | |
--顆粒物含量 | |
--重金屬污染 | |
--電學(xué)性能 |
應(yīng)用領(lǐng)域
PICOSUN? 300 mm 生產(chǎn)線應(yīng)用案例
集成電路組件 | 微機(jī)電系統(tǒng) |
氧化物間隔層 | 擴(kuò)散阻擋層 |
間聚介質(zhì) | 耐磨涂層 |
高K柵介質(zhì) | 電荷耗散層 |
隧穿氧化物薄膜 | 導(dǎo)熱層 |
氧化物阻擋層 | 導(dǎo)電種子層 |
鈍化層 | 刻蝕阻擋層 |
間隙填充層 | 電絕緣層 |
覆蓋層 | 防摩擦層 |
銅阻擋層和阻擋層 | 防粘著層 |
粘附層 | 光學(xué)薄膜 |
擴(kuò)散阻擋層 | 生物兼容層 |
點(diǎn)極 | 密封層 |
金屬化 | 納米孔封堵層 |
其他 | 顯示 |
晶體管 | 鈍化 |
電容層 | 透明導(dǎo)電薄膜 |
存儲器 | 絕緣層 |
讀寫磁頭 |
