PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-1000Pro
（PICOSUN? ALD ALD P-1000 Pro）
名稱(chēng)：原子層沉積系統(tǒng)產(chǎn)地：芬蘭
Picosun簡(jiǎn)介
Picosun是一家全球公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產(chǎn)設(shè)施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN?ALD設(shè)備專(zhuān)為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，并且不斷發(fā)展以提高效率。Picosun適應(yīng)性強(qiáng)其客戶(hù)包括zui 大的電子制造商，小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及全球ling先的大學(xué)。 Picosun的組織機(jī)構(gòu)和種類(lèi)繁多的ALD解決方案都可以滿足每個(gè)客戶(hù)的需求。PICOSUN?研發(fā)工具具有獨(dú)特的內(nèi)置可擴(kuò)展性，可確保將研究結(jié)果平穩(wěn)過(guò)渡到大批量工業(yè)制造中，而不會(huì)出現(xiàn)技術(shù)差距。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當(dāng)您想與設(shè)備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時(shí)，Picosun是您的合作伙伴。
型號(hào)：PICOSUN? ALD ALD P-1000 Pro
PICOSUN? P系列量產(chǎn)ALD系統(tǒng)定義了高產(chǎn)量ALD的新時(shí)代。我們?nèi)詣?dòng)化、真空集群與產(chǎn)線兼容的P系列ALD確保了*的產(chǎn)出效率，并且具有*的工藝純度和薄膜均勻性，甚至能完全滿足具有最嚴(yán)格要求的半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。PICOSUN? P系列ALD高效緊湊的設(shè)計(jì)節(jié)約了昂貴的場(chǎng)地成本，系統(tǒng)的易維護(hù)性減少了停工期。ALD技術(shù)可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品，可以覆蓋最細(xì)小的地方，最難到達(dá)的地方。具有高度的保形性、均一性及100%無(wú)針孔。這使得ALD可以應(yīng)用于各種行業(yè)里，實(shí)現(xiàn)各種表面的保護(hù)。ALD薄膜可以附著在各種表面上，例如金屬，玻璃，塑料，乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術(shù)，ALD薄膜可以生長(zhǎng)在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。
技術(shù)指標(biāo)
襯底尺寸和類(lèi)型 | 156 mm x 156 mm硅片800～1000片/批次（雙面/背對(duì)背） |
高達(dá)400 mm x 600 mm玻璃基板30～50片/批次（雙面/背對(duì)背） | |
大批量的3D產(chǎn)品（例如：鐘表部件，珠寶，硬幣，醫(yī)療植入部件，機(jī)械部件等） | |
多孔，通孔，高深寬比（HAR）樣品 | |
工藝溫度 | 50 - 500 °C |
基片傳送選件 | 氣動(dòng)升降（手動(dòng)裝載，帶叉車(chē)forklift cart） |
全自動(dòng)轉(zhuǎn)載，用工業(yè)機(jī)器人實(shí)現(xiàn) | |
前驅(qū)體 | 液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源 |
前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù) | |
8根獨(dú)立源管線，最多加載12個(gè)前驅(qū)體源 | |
重量 | 2000 kg |
尺寸(W x H x D) | 230 cm x 270 cm x 125 cm |
選件 | PICOFLOW? 擴(kuò)散增強(qiáng)器，N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設(shè)計(jì)，與工廠軟件連接服務(wù)。 |
應(yīng)用領(lǐng)域
Picosun的ALD技術(shù)應(yīng)用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進(jìn)行防著色，防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫(yī)療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術(shù)挑戰(zhàn)傳統(tǒng)的膜生長(zhǎng)方式。在PCB防腐蝕保護(hù)、防摩損等領(lǐng)域，ALD層大大提升了部件的質(zhì)量、可靠性及壽命。
ALD工業(yè)領(lǐng)域及應(yīng)用 | |
產(chǎn)品 | ALD應(yīng)用 |
醫(yī)療植入（牙科，連接技術(shù)） | 植物活性層， 用來(lái)提高骨融 |
手術(shù)固定器 | 合，生物兼容的包覆層 |
植入醫(yī)療器件 | 生物兼容包覆層 |
（心臟起搏器，耳蝸植入） | |
收藏性硬幣 | 防著色涂層 |
鐘表部件 | 防著色層或裝飾層 |
珠寶 | 防著色層或裝飾層 |
PCB | 防錫晶須及腐蝕 |
