敝司代理Kohzu的芯片檢測(cè)機(jī)，可以進(jìn)行非接觸式平坦度檢查，擁有SEMI規(guī)格對(duì)應(yīng)、Wafer自重修正補(bǔ)償、工作臺(tái)表面不平修正補(bǔ)償?shù)雀鞣N方式來(lái)保證檢測(cè)準(zhǔn)確性。有多種規(guī)格可供客戶(hù)選擇，也可按照客戶(hù)要求給客戶(hù)設(shè)計(jì)制作專(zhuān)用夾具，在設(shè)備導(dǎo)入前也可由客戶(hù)提供樣品進(jìn)行測(cè)試。