型號(hào)

VHX-S770E

XYθ平臺(tái)

XY 平臺(tái) 電動(dòng)/ 手動(dòng)

電動(dòng)

XY 自動(dòng)平臺(tái) 馬達(dá)

2 相步進(jìn)馬達(dá)

XY 自動(dòng)平臺(tái) 分辨率

1 μm (typ)

XY 自動(dòng)平臺(tái) 移動(dòng)速度

20 mm/sec (max)

XY 平臺(tái) 移動(dòng)量

±50 mm

θ 旋轉(zhuǎn)角

─

XYθ 平臺(tái)尺寸

上方 233 mm × 185 mm(中央圓板 ?168)

透過照明觀測(cè)對(duì)應(yīng)倍率

20 倍以上

對(duì)焦Z 軸

Z 模塊 電動(dòng)/ 手動(dòng)

電動(dòng)

Z 自動(dòng)模塊 馬達(dá)

5 相步進(jìn)馬達(dá)

Z 自動(dòng)模塊 分辨率

0.1 μm (typ.)

Z 自動(dòng)模塊 移動(dòng)速度

17 mm/sec (max)

Z 模塊 移動(dòng)量

49 mm

平臺(tái)Z 軸

Z 平臺(tái) 電動(dòng)/ 手動(dòng)

電動(dòng)

Z 自動(dòng)平臺(tái) 電機(jī)

2 相步進(jìn)馬達(dá)

Z 自動(dòng)平臺(tái) 分辨率

1 μm (typ)

Z 自動(dòng)平臺(tái) 移動(dòng)速度

10 mm/sec (max)

Z 平臺(tái) 移動(dòng)量

50 mm

側(cè)面相機(jī)

有 VGA

載重

5 kg

額定

電源電壓

100 至 240 VAC±10％ 50/60 Hz

消耗功率

130 VA

環(huán)境抗耐性

使用環(huán)境溫度

+5 至 40℃

工作環(huán)境濕度

35 至 80％ RH(無凝結(jié))