Tropel?FM200?為精密部件的制造商提供了業(yè)界領(lǐng)先的表面形態(tài)測(cè)量。通過非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的數(shù)據(jù)。FM200能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■無接觸和無損傷測(cè)量

■適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

■適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰

■適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面

■測(cè)量多種不同指標(biāo)：

厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓

■完整的分析系統(tǒng)：

三維/拓?fù)?/span>/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度

■可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量

■超過15年的工業(yè)應(yīng)用，全球幾百臺(tái)的裝機(jī)量

技術(shù)參數(shù)：

■精確度：50nm （2.0μ″）

■重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

■分辨率：5nm （0.2μ″）

■可測(cè)量工件尺寸：25mm-200mm

■動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍：>100um

■測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000 / measurement

■測(cè)量時(shí)間：5秒

■電源：～220V  50Hz