簡(jiǎn)單介紹

-6510A/ -6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀測(cè)到元素分析的整個(gè)過程。

詳細(xì)說明

掃描電子顯微鏡　-6510系列

　　-6510是一款高性能格的掃描電子顯微鏡，分辨率可達(dá)3.0nm.可按用戶要求定做的操作接口便于用戶直觀操作儀器。Smile　Shot？軟件保證得到zui佳電子光學(xué)參數(shù)。-6510的LGS型大樣品臺(tái)和GS型普通樣品臺(tái)可分別裝6英寸直徑和32mm直徑的樣品。

　掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)

　　1.強(qiáng)大的電子光學(xué)，簡(jiǎn)單操作

　　I　設(shè)計(jì)的超級(jí)圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。

　　II　廣域掃描線圈可以得到zui低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。

　　III　的電子光學(xué)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。

　　2.高分辨率

　　I　J6510系列超級(jí)圓錐形物鏡，在工作距離8mm時(shí)的分辨率為3nm，超級(jí)圓錐形物鏡

　　2的外形設(shè)計(jì)可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。

　　3.全自動(dòng)電子

　　2　I　JEOL開發(fā)的全自動(dòng)電子能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進(jìn)行觀察或成分分析。

　　II　電子偏壓是調(diào)節(jié)電子亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓能隨著電壓變化隨時(shí)調(diào)整偏壓，使得無論選擇哪個(gè)加速電壓，都能得到zui佳亮度。

　　III　JEOL獨(dú)有的像散記憶功能能夠自動(dòng)糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。

　　1KV　5KV

　　10KV　20KV

　　4.多圖顯示模式

　　3　I　主顯示區(qū)可以同時(shí)顯示兩幅實(shí)時(shí)圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區(qū)也可顯示2幅實(shí)時(shí)圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或CCD相機(jī)圖像。

　　II　雙實(shí)時(shí)顯示模式可以用于不同信號(hào)圖像的對(duì)比，用戶可在觀察表面形貌的同時(shí)了解樣品的成份分布情況。

　　III　選用多種圖像顯示模式時(shí)，點(diǎn)擊“PHOTO”按紐可同時(shí)獲得并存儲(chǔ)2或3幅全屏尺度圖像。

　　5.簡(jiǎn)單易懂的操作接口及菜單

　　I　操作接口簡(jiǎn)單，直觀，默認(rèn)的操作接口顯示了zui常用的功能按鈕，并以簡(jiǎn)單圖文標(biāo)明，點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作功能。

　　II　實(shí)時(shí)量測(cè)，圖片上的長(zhǎng)度和角度等結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)能在顯示器上進(jìn)行測(cè)量。

　　6.可變焦聚光鏡修正

　　I　做表面觀察和元素分析等不同應(yīng)用時(shí)，選擇合適束流重要，一般是通過聚光鏡與物鏡光闌來控制電子束流的。如果在調(diào)整束流過程中，焦點(diǎn)和觀察區(qū)域位移變化很小，調(diào)整起來會(huì)比較方便。JEOL獨(dú)有的可變焦聚光鏡可以保證這一點(diǎn)。

　　掃描電子顯微鏡小束流中等束流大束流

　　7.全對(duì)中樣品臺(tái)

　　I　當(dāng)樣品臺(tái)傾斜時(shí)，全對(duì)中樣品臺(tái)可使圖像位移和焦點(diǎn)變化zui小。使用此樣品臺(tái)可多方向觀察粗糙表面樣品，采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過立體圖片觀察深度。

　　8.低真空SEM

　　I　低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式犀不導(dǎo)電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。結(jié)合JEOL獨(dú)有的冷凍干燥技術(shù)，可在低真空模式下快速觀察含水樣品。