陜西特佰鑫金屬科技有限公司位于有“中國鈦谷”之稱的陜西-寶雞。專業(yè)從事鈦、鎳、鋯、鉬及其合金材料,復(fù)合材料的研發(fā)、生產(chǎn)、加工銷售。尤其在鈦及鈦合金、鎳及鎳合金金屬加工領(lǐng)域,現(xiàn)已成為國內(nèi)生產(chǎn)商之一。 專業(yè)生產(chǎn):鈦及鈦合金,鈦板,鈦棒,鈦管,鈦絲,鈦環(huán),鈦餅,鈦箔,鈦靶材,鈦鍛件,鈦盤管,鈦法蘭,鈦標(biāo)準(zhǔn)件,鈦加工件,鈦管道,鈦設(shè)備。 鎳及鎳合金,鎳板,鎳管,鎳棒,鎳絲,鎳箔,鎳法蘭,鎳靶材,鎳加工件。 鋯及鋯合金,鋯板,鋯管,鋯棒,鋯絲,鋯箔,鋯靶材,鋯法蘭,鋯盤管,鋯鍛件,鋯坩堝,鋯加工件。 鈦設(shè)備:鈦反應(yīng)釜、鈦鋼復(fù)合反應(yīng)釜、鈦內(nèi)盤管加熱反應(yīng)釜、鈦/鎳儲(chǔ)罐、鈦鋼復(fù)合儲(chǔ)罐、鈦塔器、鎳鋼復(fù)合反應(yīng)鍋。 換熱器:鈦列管式換熱器、鈦板式換熱器、鈦蒸發(fā)器、鈦冷凝器、鈦冷卻器、鎳換熱器、鎳盤管、鎳?yán)淠?、鎳蒸發(fā)器、鎳?yán)鋮s器、鈦再沸器等。 復(fù)合板:鈦鋼復(fù)合板、鈦銅復(fù)合棒。 加工銷售:鎢、鉬、鉭、鈮等稀貴材料的管、板、棒、絲及制品,以及鈦、鎳、鋯、鉭、鈮等材料的復(fù)合材料。歡迎各位新老客戶來電咨詢,采購??!
靶材的主要性能要求: 純度 純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,因?yàn)榘胁牡募兌葘Ρ∧さ男阅苡绊懞艽蟆?br style="word-break:break-all;text-size-adjust:none;" />不過在實(shí)際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。
例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
雜質(zhì)含量 靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。
不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。
例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度 為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。
靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。
靶材密度越高,薄膜的性能越好。
此外,提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。
密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。
對于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。