科研實驗專用氮化鋯靶材ZrN磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發(fā)料
產(chǎn)品介紹
氮化鋯(ZrN)不溶于水,微溶于無機酸,溶于濃硫酸、氫氟酸、王水。化合物隨著成份的變化而有多種晶體結(jié)構(gòu),它們不但具有優(yōu)異的化學(xué)性質(zhì),不僅可以用在Josephson結(jié),擴散式迭層,低溫度計等,還可以使用在三維集成電線圈,金屬基晶體管上。同時這些ZrN化合物在耐磨、抗氧化和抗腐蝕等方面優(yōu)于純鋯,而且具有較高的超導(dǎo)臨界溫度,所以可以有可能成為很好的超導(dǎo)體,具有很高的使用價值。
產(chǎn)品參數(shù)
中文名 氮化鋯 分子式 ZrN
密度 7.09g/cm3 熔點 2980℃±50℃
分子量 105.23 純度 99.5%
支持靶材定制,請?zhí)峁┌胁漠a(chǎn)品的元素、比例(重量比或原子比)、規(guī)格,我們會盡快為您報價!!
服務(wù)項目:靶材成份比例、規(guī)格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款,質(zhì)量保證,售后無憂!
產(chǎn)品附件:發(fā)貨時產(chǎn)品附帶裝箱單/質(zhì)檢單/產(chǎn)品為真空包裝
適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)設(shè)備
質(zhì)量控制:嚴格控制生產(chǎn)工藝,采用輝光放電質(zhì)譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段,分析雜質(zhì)元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度;可提供質(zhì)檢報告。
加工流程:熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫
陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導(dǎo)熱性差,連續(xù)長時間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導(dǎo)熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。
注意:高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導(dǎo)致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
建議:陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。