光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對距離、透明物體厚度和三維物體形貌等的精密測量。該儀器測量精度高，體積小，操作簡單，攜帶方便。廣泛應用于半導體、光伏、電子組件、汽車、玻璃面板、物流、食品等領域。

光譜共焦位移傳感器主要由測量頭、控制器、光纖組成。利用特定的彩色編碼鏡頭使白光產(chǎn)生軸向色散，被測工件反射信號，經(jīng)過光譜儀解析共焦光波信號，最后通過波長與位移轉(zhuǎn)換曲線計算出工件位移測量值。

設備特點如下：

1、穩(wěn)定性好；

2、適用多種形貌特征測量；

3、設備輕巧，便于攜帶或易于集成自動化測量應用；

4、操作簡單，測量精度高；

光譜共焦位移傳感器技術(shù)參數(shù)如下：

1）測量范圍：±3mm（位移）0.5-2mm（玻璃厚度）

2）工作距離：55mm

3）光斑大小：10μm（量程中心位置理論光斑直徑）；

4）線性度：±1μm（校準后滿量程測量時*誤差值）

5）分辨率：0.05μm（測量中心零點平均10噪聲大小程度）；

6）*傾角：±10°（對于漫反射工件*傾斜角度可以達到80°）；

7）測頭尺寸：Φ33*75mm；

8）測頭重量：150g