光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)距離、透明物體厚度和三維物體形貌等的精密測(cè)量。該儀器測(cè)量精度高，體積小，操作簡(jiǎn)單，攜帶方便。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、電子組件、汽車、玻璃面板、物流、食品等領(lǐng)域。

光譜共焦位移傳感器主要由測(cè)量頭、控制器、光纖組成。利用特定的彩色編碼鏡頭使白光產(chǎn)生軸向色散，被測(cè)工件反射信號(hào)，經(jīng)過(guò)光譜儀解析共焦光波信號(hào)，最后通過(guò)波長(zhǎng)與位移轉(zhuǎn)換曲線計(jì)算出工件位移測(cè)量值。

設(shè)備特點(diǎn)如下：

1、穩(wěn)定性好；

2、適用多種形貌特征測(cè)量；

3、設(shè)備輕巧，便于攜帶或易于集成自動(dòng)化測(cè)量應(yīng)用；

4、操作簡(jiǎn)單，測(cè)量精度高；

光譜共焦位移傳感器技術(shù)參數(shù)如下：

1）測(cè)量范圍：±3mm（位移）0.5-2mm（玻璃厚度）

2）工作距離：55mm

3）光斑大?。?/span>10μm（量程中心位置理論光斑直徑）；

4）線性度：±1μm（校準(zhǔn)后滿量程測(cè)量時(shí)*誤差值）

5）分辨率：0.05μm（測(cè)量中心零點(diǎn)平均10噪聲大小程度）；

6）*傾角：±10°（對(duì)于漫反射工件*傾斜角度可以達(dá)到80°）；

7）測(cè)頭尺寸：Φ33*75mm；

8）測(cè)頭重量：150g