高精度電容薄膜真空計
高精度電容薄膜真空計
INFICON CDG025D電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設(shè)計用于在嚴(yán)酷的制造工具環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. 先進(jìn)的數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調(diào)零的功能和設(shè)點調(diào)整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供卓越的零點穩(wěn)定性, 以及引起能達(dá)到數(shù)百萬次壓力循環(huán)包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨特的傳感器*保護(hù)真空計防止過程污染. 經(jīng)久耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)提高EMC兼容性, 長期穩(wěn)定性和溫度補償能力。
特點
滿量程范圍從0.1乇至1000乇
通電后快速穩(wěn)定性
暴露大氣壓的快速恢復(fù)性
抗腐蝕的陶瓷傳感器
優(yōu)秀的長期信號穩(wěn)定性
溫度補償
傳感器有防污染保護(hù)
一鍵調(diào)零功能
寬范圍電源
兩個設(shè)點 (可選)
RS232 接口 (可選)
應(yīng)用
半導(dǎo)體制造設(shè)備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD
數(shù)據(jù)存儲和OLED,LCD制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
混氣實驗設(shè)備
一般高精度壓力測量
技術(shù)規(guī)格（基于Torr的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品）
| 滿量程范圍（Torr） | 1000 | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 精度 （ 在25°C環(huán)境工作溫度下運行兩小時后無非線性,滯后性,再現(xiàn)性的溫度效應(yīng)） | 0.2%讀數(shù) | 0.5%讀數(shù) | ||||
| 溫度效應(yīng) 在零點 在滿量程 | 0.005%滿量程/℃ 0.01%讀數(shù)/℃ | 0.015%滿量程/℃ 0.01%讀數(shù)/℃ | 0.02%滿量程/℃ 0.02讀數(shù)/℃ | |||
| 分辨率 | 0.003%滿量程 | |||||
| *壓強（*壓力） | 400Kpa | 260Kpa | 130Kpa | |||
| 響應(yīng)時間 | 30ms | 130ms | ||||
| *壓強讀值 | 0.01%滿量程 | |||||
| *建議壓強 | 0.05%滿量程 | |||||
| *建議控制 壓強（排氣節(jié)流閥聯(lián)控時） | 0.5%滿量程 | |||||
| 電源電壓 功率 | +14至+30Vdc ≤1 W | |||||
| 輸出信號 | 0至+10V模擬量 | |||||
| 電氣連接件 | D-sub 15針 | |||||
| 工作溫度 | +5至+50℃ | |||||
| 烘烤溫度 | ≤110℃法蘭處（未運行） | |||||
| 安裝方位 | 垂直 水平（要求） | |||||
| 防護(hù)等級 | IP30 | |||||
1.其它滿量程請咨詢
2.設(shè)定點繼電器,RS232C僅CDG025D-S
訂購資料
CDG025D,溫度補償型
| 滿量程范圍 | 1/2"英寸管 | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8VCR |
| 1000Torr | 375-000 | 375-001 | 375-002 | 375-003 |
| 100Torr | 376-000 | 376-001 | 376-002 | 376-003 |
| 10Torr | 377-000 | 377-001 | 377-002 | 377-003 |
| 1Torr | 378-000 | 378-001 | 378-002 | 378-003 |
| 0.1Torrr | 379-000 | 379-001 | 379-002 | 379-003 |
CDG025D-S,2個設(shè)定點,RS232接口,溫度補償型
