CDG025D-X3電容膜片真空計
CDG025D-X3電容膜片真空計
INFICON SKY CDG025D-X3 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩(wěn)定性(包括氣壓突變的情況),預期使用壽命長達數(shù)百萬次壓力循環(huán)。獨有的傳感器*可防止儀表被過程污染。堅固的機械設計和數(shù)字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補償。CDG025D-X3 為開機后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
特點
從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復
防腐蝕陶瓷傳感器
卓越的長期信號穩(wěn)定性
溫度補償
傳感器受雙重防污染保護
一鍵調(diào)零功能
寬范圍電源
2個設定點
RS232 接口
無塵室合規(guī)
應用
用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備
數(shù)據(jù)存儲和顯示器制造設備
工業(yè)真空設備
經(jīng)濟、高度精確的壓力測量
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