電子級三氯氧磷

一、分子式：POCl3

二、分子量：153.35

三、理化性質(zhì):

無色透明揮發(fā)性液體，具有強烈的刺激性氣味。易水解于潮濕的空氣中，生成磷酸和鹽酸。熔點為1.25℃，沸點為102℃，相對密度為1.675。蒸發(fā)熱33.7kJ/mol。接近300℃時，仍很穩(wěn)定。遇到大量水時會發(fā)生爆炸。有毒性和腐蝕性。

四、用途:

主要用于芯片的N型摻雜，是制作集成電路、太陽能電池、光纖預制棒、分離器件等的液態(tài)磷源，是芯片制程中必須的電子化學品，同時電子級三氯氧磷也是制作高純磷酸酯的原料。

供應(yīng)半導體化學氣相沉積材料，專業(yè)研發(fā)及制造各種先進CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEBPrecursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-KMaterial，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。