電子級亞磷酸三甲酯(TMPI)

一、分子式: P(OCH3)3  

二、分子量: 124.08

三、理化性質(zhì)

無色液體，有刺激性臭味，熔點-78℃，沸點111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水緩慢分解為磷酸和甲醇。

四、用途

主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半導體、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學品。

供應半導體化學氣相沉積材料，專業(yè)研發(fā)及制造各種先進CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEBPrecursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-KMaterial，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。