電子級(jí)硼酸三甲酯 (TMB)

一、分子式: B(OCH3)3

二、分子量:103.92

三、理化性質(zhì)

無(wú)色液體，無(wú)明顯氣味，性質(zhì)穩(wěn)定。熔點(diǎn)-29℃，密度0.915g/ml，沸點(diǎn)67～68℃。易燃，

與氧化劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)。水解生成甲醇和硼酸，能與有機(jī)溶劑混溶。

四、用途

主要用于晶圓制造過(guò)程中化學(xué)氣相沉積（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半導(dǎo)體、

分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。

供應(yīng)半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積材料，專業(yè)研發(fā)及制造各種先進(jìn)CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學(xué)氣相沉積材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEBPrecursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-KMaterial，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。