GDWT-480型全自動(dòng)型高低溫真空探針臺(tái)
關(guān)鍵詞：高低溫探針臺(tái)，半導(dǎo)體，光電，吉時(shí)利
GDWT-480型全自動(dòng)型高低溫真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于I-V/C-V，PIV測(cè)試,傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電子樣品測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本，可以配合Keithley,Tektronix等國(guó)內(nèi)外各種源表對(duì)材料進(jìn)行測(cè)試，可以做材料的介電，鐵電等測(cè)試,是目前高等院校和研究所及材料生產(chǎn)單位的重要輔助設(shè)備。
GDWT-480型自動(dòng)型真空高低溫探針臺(tái)該探針臺(tái)尺寸高達(dá)59x59MM，不銹鋼臺(tái)面設(shè)計(jì)，可以達(dá)到高溫350℃。在真空方面采用真空腔體設(shè)計(jì)，具備進(jìn)氣口和抽真空接口，三軸移動(dòng)探針臂保證X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，用戶(hù)可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀(guān)察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè).
主要特點(diǎn)：
1、溫度可以從-190℃-350℃
2、探針不需要打算開(kāi)觀(guān)察窗口，可以通過(guò)X/Y/Z三軸移動(dòng)調(diào)節(jié)探針，
3、可以配真空，氣氛等多種功能。
4、三軸調(diào)節(jié)范圍：其中X方向0－28mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－18mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－18mm；
主要技術(shù)參數(shù)：
真空腔體 | |
整內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm（標(biāo)準(zhǔn)） |
觀(guān)察窗尺寸 | Φ70mm |
樣品臺(tái)尺寸 | Φ60mm |
觀(guān)察窗熱臺(tái)間距 | 74mm |
加熱臺(tái)溫度 | -190-350℃ |
加熱臺(tái)溫控精度 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-5Pa |
電信號(hào)接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻≥4000MΩ介質(zhì)耐壓≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm（其他多種可選）0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米 |
制冷 | 液氮/液氦/制冷機(jī) |
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X-Y-Z移動(dòng)行程 | 30mm*25mm*25mm |
結(jié)構(gòu) | 真空波紋管結(jié)構(gòu)，精密三軸控制探針 |
精度 | ≤0.01mm |
漏電精度 | 10pA,100fA,10fA |
接頭類(lèi)型 | BNC/三軸/鱷魚(yú)夾/香蕉頭/接線(xiàn)端子 |
頻率支持 | DC-67GHZ |
針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類(lèi)別 | 物鏡(可以選配） |
物鏡倍數(shù) | 0.6-5.0倍(可以根據(jù)客戶(hù)要求進(jìn)行選配） |
工作間距 | 85mm |
相機(jī) | sony 高清 |
像素 | 200萬(wàn)/500萬(wàn)/1200萬(wàn) |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 9寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
可選附件 | |
光學(xué)平臺(tái) | |
*箱 | |
光電測(cè)試配件 | |
高壓測(cè)試配件 | |
激光系統(tǒng) | |
氣敏測(cè)試系統(tǒng) | |
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