Renishaw雷尼紹 RESOLUTE UHV（超高真空）非增量式光柵

RESOLUTE  UHV為超高真空應用提供非增量式光柵技術，幫助客戶提高測量效率，降低損壞風險，并增強 可靠性。

RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的非增量式光柵技術，通過一個適合在低達10 -10 Torr的超高真空條件下應用的讀數(shù)頭充分發(fā)揮其技術優(yōu)勢。新的RESOLUTE UHV光柵系列的構造有利于進行殘余氣體分析 (RGA)而不會污染真空環(huán)境，非常適合性能高、半導體和科研等應用領域。

頂部測量效率顯著提高

RESOLUTE的性能優(yōu)于其他所有為UHV環(huán)境設計的非增量式光柵。RESOLUTE的分辨率達到32位（直線光柵達到1 nm），速度達到36 000轉/分（直線光柵達到100 m/s），其超凡的技術指標是光柵技術的一大新突破!

但RESOLUTE帶來的不僅僅是高速度……先進的檢測技術還兼具內在的超低電子細分誤差 (SDE) 和極低噪音（抖動）特點。

頂部結果：

速度波動穩(wěn)定性提高10倍

位置穩(wěn)定性提高10倍

可重復性提高10倍

電機產生的熱量減少

頂部降低損壞風險

RESOLUTE是一款真正的非增量式光柵，意味著開啟之后立即確定位置。

無需“開啟并晃動”

無需備用電池

立即實現(xiàn)對軸控制

快速電機換向

保持高負載

例如，這些特點意味著在斷電后仍可以確保機器人對晶片進行安全拾取操作。

頂部可靠性增強

RESOLUTE的中心技術消除了幾種與光柵反饋有關的很常見失效模式。每次讀數(shù)頭收到來自主控制器的請求時，RESOLUTE柵距圖像，以此確定絕dui位置。圖像包含高度冗余，而讀數(shù)頭應用復雜的交叉檢查和錯誤剔除，將定位精度保持在1 nm范圍內。這種技術意味著不會發(fā)生計數(shù)錯誤或者“丟數(shù)”情況。

此外，RESOLUTE采用獨有的內置位置校驗算法，在輸出之前主動校驗每個位置讀數(shù)，以便在任何潛在問題到達控制器之前就能及時提醒。同時它還可以監(jiān)測速度、信號狀態(tài)和溫度。

RESOLUTE使用純串行通信向控制器發(fā)送已校驗的位置信息。根據(jù)RESOLUTE使用的所有協(xié)議，應用CRC檢查，以便能夠檢測出傳輸過程中的數(shù)據(jù)損壞。

頂部直線光柵和圓光柵

RESOLUTE UHV提供一系列適合各種直線光柵和圓光柵應用的柵尺。

頂部直線光柵選項

材料

類型

精度

長度

RELA

ZeroMet

具有極低CTE的柵尺

±1 μm

1.13 m

RSLA

不銹鋼

柵尺

長度1 m時精度±1.5 μm

長度2 m時精度±2.25 μm

長度3 m時精度±3 μm

長度5 m時精度±4 μm

5 m

RTLA

不銹鋼

配合FASTRACK使用的鋼帶柵尺

±5 μm/m

10 m

RTLA-S

不銹鋼

帶自帶不干膠的鋼帶柵尺

±5 μm/m

10 m

頂部圓光柵選項：

RESA圓柵具有低轉動慣量和大通孔。尺寸從52 mm至550 mm。

REXA超高精度圓柵配用雙讀數(shù)頭使用時保證精度優(yōu)于±1角秒（在尺寸100 mm和更大的圓柵上）。尺寸從52 mm至550 mm。