全封閉顯影機(jī)  

全封閉顯影機(jī)產(chǎn)品優(yōu)勢  

·全封閉式顯影，避免霧氣擴(kuò)散到外部，污染。  

·外殼噴塑，耐腐蝕，易清洗。  

·內(nèi)腔鍍特氟龍，光滑，耐腐蝕，易清洗。  

·內(nèi)置真空過濾器，防止液體吸入真空泵。  

·真空壓力可調(diào)，壓力值實時顯示。  

·液體流量可調(diào)，回吸可調(diào)。  

全封閉顯影機(jī)產(chǎn)品參數(shù)  

支持wafer尺寸：碎片至200mm（8"圓晶）  

·轉(zhuǎn)速分辨率：±1RPM  

·旋涂速度：20-3000rpm（空載）  

·旋涂加速度：10-10,000rpm/sec（空載）  

·工藝時間設(shè)定：0-3,000sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec  

·該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)（1路洗衣液，1路純水，1路氮氣）  

·單步工藝及多步工藝可選，內(nèi)置100組可編輯程序  

·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī)。  

http://www.lebokeyi.com/Products-37197273.html  

https://www.chem17.com/st438182/erlist_2384293.html