? 設(shè)備為臺(tái)式設(shè)備,采用手動(dòng)芯片剝膜方式;
? 適用已經(jīng)減薄過(guò)需要返工的6/8英寸普通圓片和6/8英寸TAIKO圓片的脫模工藝
? 可適用普通圓片厚度:100um--300um
? 可適用的TAIKO片邊緣厚度:600um--700um,中心厚度:70um--120um
? 適用膜寬度≤ 230mm 的雙層膜UV膜或者單層藍(lán)膜;
? 設(shè)備可選配三個(gè)工作臺(tái)面:6/8英寸普通臺(tái)面、6英寸TAIKO臺(tái)面、8英寸TAIKO臺(tái)面
? 工作臺(tái)面采用抗靜電特氟龍?zhí)幚?,具有真空吸附產(chǎn)品功能;
? 工作臺(tái)面具有加熱功能,*溫度70℃
? 臺(tái)盤(pán)真空孔均勻分布