菘啟工業(yè)有限公司是臺灣溫度傳感器制造公司，于2002年在珠三角地區(qū)設立的服務據(jù)點松揚溫控。菘啟工業(yè)有限公司在1995年2月于臺北成立，擁有：”BS EN ISO 9001:2000 品質(zhì)認證”，”ISC/IEC GODE25 溫度實驗室認證”，”UL IEC 17025 二級溫度實驗室認證”等三大認證。以其先進的設備，專業(yè)的知識，世界先進的技術，已為國內(nèi)外廣大客戶提供溫度傳感控制方面的解決方案。菘啟工業(yè)有限公司多次參與中國傳感器協(xié)會會議，并于會中針對先進溫度傳感技術發(fā)表專題研討。不斷的創(chuàng)新與對品質(zhì)一貫的堅持，是我們宗旨。期望能為廣大客戶提供優(yōu)良，高質(zhì)的服務。

菘啟工業(yè)有限公司——是溫度測量控制產(chǎn)品及高溫材料供應商，產(chǎn)品應用于航太、半導體、太陽能光伏、LED、石油化工也、汽車工業(yè)、食品業(yè)等高科技產(chǎn)業(yè)及傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)。公司依托臺灣總公司的強大研發(fā)、校驗能力；東莞的生產(chǎn)基地以及昆山的技術服務與支持，現(xiàn)已形成全方面的產(chǎn)品設計、開發(fā)、制造、校驗的系統(tǒng)方案提供商。

公司始終堅持為客戶創(chuàng)造更多價值；提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品；細致專業(yè)的服務，讓THERMOWAY品牌獲得業(yè)界更多的認同及尊重

THERMOWAY RTD WAFER 專為需要高精度溫度測量的製程所 設計，例如半導體光阻劑處理系統(tǒng)、晶圓探測器和許多其他類型 的半導體製造設備。 透過研發(fā)團隊精心整合設計帶來高量測精度和結果穩(wěn)定性， WAFER 上的 RTD 傳感器，黏合及封裝材料，四線式電阻測量 方式是關鍵的集成元件。

Features ? 工作溫度範圍： -80°C to 300°C ? 溫度點位： 1 to 160 points ? 提供校正服務 ? 提供應用軟體及分析系統(tǒng)

Applications ? 測量和記錄製程週期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩(wěn)定狀態(tài)、冷卻和卸載。 ? 提升對溫度的控制及?致性。 ? 管理具有嚴格熱性能規(guī)格的生產(chǎn)流程或為 SPC 系統(tǒng)提供數(shù)據(jù)。 ? 在硬體或製程研發(fā)期間優(yōu)化晶圓工藝。 ? 在最終鑑定、晶圓廠啟動以及修復或升級系統(tǒng)的重新鑑定過程中對晶圓廠設備進行測試和基準測試。

Specifications

Temperature Range: -80°C to 300°C

Wafer Size: 6”, 8”, 12”

Element Type: Thin Film Platinum

Element Resistance: 100Ω, 1000 Ω nominal at 0°C

Resistance Alpha Value: 0.00385

Max. Measurement Current: 200 μA

Accuracy with Calibration Correction: ±0.1°C absolute accuracy, ±0.03°C sensor to sensor accuracy Also available in customized high accuracy ±0.05℃ @ 0℃

Resolution: 0.01°C

Type of Connection: 3-Wire or 4-wire resistance measurement with common current source return

Lead Materials: Polyimide coated copper

Cable Construction: Polyimide film flat cable section transitioning to a silicon rubber round flex cable.

Connection: D-type, high density, sub-miniature with 68 pins.