隨著近些年來半導體行業(yè)的飛速發(fā)展，對于微細加工技術的要求也越來越高。微電子生產(chǎn)設備，光學儀器等高靈敏度設備，針對其工作環(huán)境（如振動，噪聲，電磁以及溫濕度），尤其是振動條件提出了更苛刻的要求。針對此類振動幅值小，精度要求高，工作頻率低的使用環(huán)境特征，常規(guī)的通用數(shù)據(jù)采集設備無法滿足其測量評估要求。

微振動測試模擬

針對微振動測試模擬需求，瑞鴻科技提供完整的微振動測試與模擬的交鑰匙解決方案，已有多家客戶正在使用。

1.微振動模擬發(fā)生器

2.微振動配套環(huán)境實時

3.可以模擬0.1mg正弦掃頻

4.測試可以達到ug級微振動測試

整個系統(tǒng)建立在隔振環(huán)境好的實驗室內，由低噪聲的微振動控制器、低噪聲微振動試驗系統(tǒng)、低噪聲的傳感器以及電腦組成。微振動發(fā)生試驗系統(tǒng)包括低噪聲低失真的功率放大器、微振動發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)以相關的輔助設施實現(xiàn)。

為了整個系統(tǒng)的性能要求，采取了微振動采集儀低噪聲的設計和生產(chǎn)，同時選用低噪聲的微振動拾取器，配合低噪聲算法軟件，實現(xiàn)微振動的測試，整個系統(tǒng)達到0.01mg的測試精度。

優(yōu)勢

（1）整個系統(tǒng)低噪聲，動態(tài)響應好，失真度低，低噪聲

（2）公司整個針對微振動系統(tǒng)工程經(jīng)驗豐富，技術成熟

（3）上?？梢员镜丶夹g支持

（4）有成熟案例

主要技術參數(shù)和指標

（1）主要頻率范圍5Hz～100Hz。

（2）振動加速度范圍1mg～0.05g(可視實際環(huán)境工況而定)

（3）控制精度mg級

（4）振動方式：正弦、隨機、沖擊

（5）負載重量：大于200kg

系統(tǒng)組成（非標定制）

微振動發(fā)生系統(tǒng)：包含低噪聲低失真功率放大器、微振動發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)。功率放大器采用風冷，為低噪聲低失真的輸出功率為15KVA。放大器采用新技術的MOSFET功率晶體管，數(shù)字脈沖模式工作方式。不對稱輸入，具有高功效的大的帶寬,針對于微振動試驗的特殊要求，專門對攻放進行低噪聲的優(yōu)化設計，使攻放的信噪比優(yōu)于80dB，失真度小于0.7%，針對于微振動的低勵磁模式控制。微振動發(fā)生器裝有自動氣囊載荷補償裝置，在大負荷下能實現(xiàn)振幅。針對微振動微笑振動控制的優(yōu)化設計，使微振動發(fā)生器及時在微小振動情況下也能做到高響應精度發(fā)生，微振動發(fā)生器和放大器之間的連接電纜長5米。

微振動控制系統(tǒng)：振動控制設備的插件包括標準的數(shù)字信號處理面板，模擬-數(shù)字和數(shù)字-模擬轉換軟件，處理所有振動和沖擊控制模式的標準軟件。針對微振動專門優(yōu)化硬件和軟件，實現(xiàn)低噪聲設計控制。

微振動采集分析系統(tǒng)：為了整個系統(tǒng)的性能要求，采取了微振動采集儀低噪聲的設計和生產(chǎn)，同時選用低噪聲的微振動拾取器，配合低噪聲算法軟件，實現(xiàn)微振動的測試，整個系統(tǒng)達到0.01mg的測試精度。

加速度傳感器與附件（選件）：針對微振動試驗要求，選用低噪聲的傳感器，以及放大器來實現(xiàn)微振動的試驗。