真空氣氛電阻爐用于在1650℃下半導(dǎo)體器件、金屬材料、粉末冶金的熱處理和還原性燒結(jié)等工藝，也可用于產(chǎn)品的炭化試驗(yàn)。該爐采用進(jìn)口電阻絲加熱，進(jìn)口程序控溫儀控制，溫控儀可設(shè)定64段升溫曲線、PID控制參數(shù)自整定、并具有斷偶、超溫報(bào)警保護(hù)等功能。爐體采用超輕質(zhì)高鋁纖維材料，具有熱容小、溫度升降控制靈活、節(jié)能等特點(diǎn)，設(shè)備可根據(jù)真空度的需要分別選用機(jī)械泵，非常適合于試驗(yàn)和小批量生產(chǎn)之用。