產(chǎn)品關(guān)鍵詞：
熱沉曝光機(jī)/光刻機(jī),圍壩曝光機(jī)/光刻機(jī),DPC曝光機(jī)/光刻,
對(duì)位精度：±1-2μm
解析度高：1-15μm
曝光定位：CCD定位
生產(chǎn)效率：15S/面
光源能量：≥95%
基板厚度：≤1-3mm（片料；可定制）
基板尺寸：≤L132mm*W125mm（片料）
適用行業(yè)：陶瓷基板曝光
產(chǎn)品關(guān)鍵詞：
熱沉曝光機(jī)/光刻機(jī),圍壩曝光機(jī)/光刻機(jī),DPC曝光機(jī)/光刻,
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