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實驗室高純氣路布局

實驗室供氣系統(tǒng)的功能

滿足不同實驗的要求和安全性，雙瓶采用匯流排供氣設(shè)備，具有手動、半自動和全自動切換功能，并沒有低壓報警裝置，實時監(jiān)控氣壓、濃度檢測報警和排確保客戶正常用氣和生命財產(chǎn)安全。

氣路系統(tǒng)常用設(shè)備

鋼瓶(氣體壓縮機)、鋼瓶國定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金厘軟管、半自動開關(guān)裝置、一級減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套情閥、不銹鋼管(BA)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測報警裝置等。

實驗室集中供氣系統(tǒng)技術(shù)要求

海口實驗室氣路_實驗室氣路工程_實驗室氣路系統(tǒng)

1、氣瓶存放室:

(1)氣瓶之間應(yīng)采用300毫米厚的實心墻，安裝防爆門，設(shè)置防爆裔

(2)室內(nèi)電氣設(shè)備應(yīng)具有防爆功能:

(3)應(yīng)安裝排氣扇，隨時保持良好的通風(fēng)狀態(tài)

2、供氣系統(tǒng)需要兩級減壓供氣。供氣匯流排減壓，氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個氣體使用實驗室。二級減壓器安裝在每個用氣實驗室或用氣點，便于對通風(fēng)柜或儀表的氣體輸送壓力進行統(tǒng)一控制，用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級減壓器精確調(diào)節(jié)壓力(.01兆怕，獲得穩(wěn)定的壓力，可以滿足儀器對不同使用壓力的要求，一級減壓器和二級減壓器均配有壓力表，可實時顯示當(dāng)前壓力.

3，采用雙側(cè)匯流排半自動方式連續(xù)供氣，實驗室使用要求，更換氣瓶時，可以通過安裝在高壓軟管下方的夾緊衰更換氣瓶。

4、氫氣和乙快是。應(yīng)設(shè)計氣體泄漏檢測和報警裝置，并安裝陽火器，以防止明火回流。應(yīng)確保放置易燃和助燃氣體的足夠安全距離.

實驗室高純氣路布局1,高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來說，要求管道不要太長，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管”。主管或支管的未端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中，讓少量氣體在管道未端連續(xù)排出，從而管道中的氣體將正常流動，避免出現(xiàn)”死區(qū)，根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求，必憑時應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置。一般來說，控制閥、過減器、減壓裝置、壓力表、流量計、在分析儀器等，進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于

統(tǒng)一管理和控制。2.高純氣路管道及管道附屋材料高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例，半號體工業(yè)僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境，而目由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細加工，對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求，從微米技術(shù)到亞徽米和深亞微米小于0.35um)技術(shù)，對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴格，10-6 ppm級)不能滿足要求，需要達到10-9 (ppb級)其至10-16px級)，粉塵粒經(jīng)要控制在0.05-0.01 um。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

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